工業管道工程一般分為兩種,一種為工業氣體管道工程,一種為工業化學品管道工程。
一、工業氣體管道工程
工業氣體管道工程是指氣體由不銹鋼管道從氣體儲存裝置輸送到用氣點。多數科研院所實驗室以及工廠車間生產線經常用到超高純工藝氣體,這些氣體的純度要求大多在99.999%(5N)或以上,因為這些工藝氣體在純度上要求非常高以及部分氣體的不穩定與危險性所以其輸送系統必須是以不銹鋼管道傳輸,切其不銹鋼管件選材上也有不同的要求。
管路的材質則依使用的需求進行選擇,若為制程用的反應氣體則選擇高等級的316L EP 管,經電解拋光 (Electro-Polish) 處理,耐腐蝕,表面粗糙度低, Rmax(maximum peak to valley height) 約為 0.3μm 以下,其值遠低于經過光輝燒結 (Bright Anneal) 處理之 316L BA 管的 0.8μm ,因平整度越高越不容易形成微渦流,而將污染粒子帶出。 316L BA 管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應的氣體,如 GN2 、 CDA 。管內表面粗糙度是衡量管材質量的標準。粗糙度越低,其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經特殊處理的 AP 管 (Annealing & Picking) ,則用于不做為供氣管路的雙套外管。
二、工業化學品管道工程
在集成電路芯片和液晶顯示器生產的行業中,生產工藝需用的各種無機化學品藥液(主要包括各類酸、堿、鹽等)需要通過管道輸送到工藝設備,這些化學品藥液中具有強腐蝕性、易燃性、易爆性和劇毒性等危害,為防止化學品管道的輸送過程對人、設備造成傷害以及對環境造成的污染,保證電子工業廠房化學品管道安全有效輸送,要求此類管采用雙套管的施工方法,而傳統的雙套管施工工藝是透明PVC管內穿PP管或PVDF管的硬管施工方法。
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